掩膜版HMDS真空烘箱    hmds烤箱應(yīng)用原理

   掩膜版（Photomask），又稱(chēng)光罩、光掩膜、光刻掩膜版等，是微電子、集成光電子制造中光刻工藝所使用的圖形母版， 由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形，并通過(guò)曝光將圖形轉(zhuǎn)印到晶圓上。

掩模版在設(shè)計(jì)時(shí)有著明場(chǎng)和暗場(chǎng)之分，在其與之光刻膠（正、負(fù)膠）曝光時(shí)可以根據(jù)工藝時(shí)的需要來(lái)選擇設(shè)計(jì)。上文已經(jīng)提到正光刻膠曝光區(qū)域被溶解，負(fù)膠則相反。

掩膜版主要由基板和遮光膜兩個(gè)部分組成。基板分為樹(shù)脂基板和玻璃基板，玻璃基板主要包括石英基板和蘇打基板，根據(jù)遮光膜種類(lèi)的不同，可以分為硬質(zhì)遮光膜和乳膠。

掩膜版HMDS真空烘箱    hmds烤箱功能

材質(zhì)：內(nèi)箱采用316L級(jí)不銹鋼

工藝溫度：100-150℃

溫度分辨率：0.1℃

溫度波動(dòng)度：≤±0.5

真空度：≤133pa（1torr）

操作界面：人機(jī)界面，一鍵作業(yè)

層數(shù):1-2層

HMDS控制:可控制HMDS藥液的添加量

圖像處理：圖像反轉(zhuǎn)

真空泵: 進(jìn)口無(wú)油泵

保護(hù)裝置：緊急停止，HMDS藥液泄漏報(bào)&警提示，HMDS低液位報(bào)&警，超溫保護(hù)，漏電保護(hù)，過(guò)熱保護(hù)等

 掩膜版HMDS真空烘箱  光罩hmds烘箱  hmds預(yù)處理烤箱使基底表面由親水性變?yōu)槭杷裕鰪?qiáng)表面的黏附性（HMDS-六甲基二硅胺烷）。適用于硅片、麟化銦、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料。